氦检漏系统是一种用于检测和测量气体泄漏的设备，通常由一个或多个气密性容器、传感器和控制单元组成。其主要用于航空航天领域和其他需要高精度测量的行业。
主要功能包括：首先是可以确定被测物体的泄露量；其次可以实时监测并记录测试数据以备查询历史数据的方便快捷操作界面设计；是可以通过对压力信号的分析处理来确定密封容器的质量状态及生产过程中影响产品质量的各种因素.通过对这些参数的变化进行分析判断出产品质量的稳定性,并及时发出报警提示操作者作出相应的调整措施或者直接把有问题的零件筛选出来从而保证产品的质量和合格率达到100%.
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。
氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，利用了氦气的流动性和质量大于氮气、氧气等气体这一特性。
该系统的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比关系，对于压力范围0.5~8大气压，在很小的泄露量下就能探测出来（小于1Pa·m³/s）。此外还配备了真空泵对测试工件进行抽空处理，将工作空间的工作压力降低到规定的要求参数值内；电器控制系统负责整个试验过程的操作和调节控制；而示差式电路不但能根据被测样品放出的低频成分来校正测量结果而且还能使仪表具有自动反吸功能。
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